건식세정 (1) 썸네일형 리스트형 [반도체 공정] 세정공정(Cleaning)-3 3) 기계적 세정 - Back-End Proces는 금속의 용해, 부식 위험으로 주로 기계적 세정 사용 - Scrubbing: 회전하는 스크럽 브러시를 이용해 표면 미립자(>1um) 제거 Surface scratching 유의 - High Pressure Fluid Jet: DI water or Organic solvents를 고압 분사 Shear forces effectively dislodge submicron particles penetrate into dense topography - Dry Ice Snow: 액체 CO2가 표면에서 dry ice snow 형성, 불어서 날림으로서 오염물질 제거 - 울트라 소닉, 메가 소닉: 초음파 에너지를 이용한 세정 자동화가 용이, 미세한 구조에도 침투해 정밀 .. 이전 1 다음
