sheath (1) 썸네일형 리스트형 [반도체 공정] 식각공정(Etching)-2 4. Plasma : 제4 상태의 전기적 성질 가지는 준중성 상태 기체 전자, 이온, 중성 원자, Radical 집합체 - (+), (-) 하전 입자 합=0 -> 전기적 중성 - 집단행동(collective behavior) - 외부 간섭에 의해 고립 특성(sheath) 1) Plasma 생성 - DPP(Discharge Produced Plasma): 특정 물질 환경속 전극 간 대전류 펄스를 흘려 발생 LPP(Laser Produced Plasma): 특정물질에 강한 레이저 광을 집광해 발생 - 전자: Plasma 발생에 가장 중요 인자 - Electron Temp [eV] : 두 전극 양단에 1V를 가했을 때 전자가 가속, Anode 끝단에서 전자의 최대 에너지 분포 평균치 - 평형 상태: 발생되는 .. 이전 1 다음
